日本科赋乐金属密封品质流量计
5410系列品质流量计-金属密封
金属密封，泄露率1*10-11pa·m³/s以下
合用于高真空、半导体、剧毒、强侵蚀气体情况下
±15VDC供电机能不变，0-5V摹拟旌旗灯号加倍通用

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产地	入口	加工定制	是
质保	1年

日本科赋乐金属密封品质流量计

5410系列品质流量计-金属密封
金属密封，泄露率1*10-11pa·m³/s以下
合用于高真空、半导体、剧毒、强侵蚀气体情况下
±15VDC供电机能不变(bian)，0-5V摹拟旌旗灯号加倍通用

日本科赋乐金属密封品质流量计

机能参数：

分度值(N2)	10SCCM-20SLPM(别人50SLM
控制精度	±1.0%FS
出现性	±0.2%FS
呼合时间	1秒，
抗压	1.0Mpa
吃下大负担	O.5Mpa
外露率	1*10-11pa·m³/s下例
湿度投资规模	5-45℃
温度湿度投资额	10-90%RH(不是结水)
不锈钢材质	本体论SUS316L
	填料密封圈SUS316L、PTFE
电气设备电源接口	DB9
摹拟旌旗灯号	0-5V输出的
送电	+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA；
压缩空气管毗连	配1/4UJR
	选择1/8UJR
图像	约800g

小家电毗连：

脚针/冷暖色	界说
1针角/粽色	空
2脚针/灰白色	0-5V传输
3尾线/洁白	+15VDC
4脚针/玄色	电源开关COM
5尾线/成黄色	-15VDC
6针角/灰色的	空
7脚针/精彩纷呈	伤害COM
8尾线/兰色	空
9针角/青色	空

★进行重视起来一：进气地埋管上倡议书设施上的过滤程序器、水和油份离器采用，的保障乙炔气的索然无味卫生《湿球温度不跨跃90%(必须未能漏液)、悬浮物烟尘不跨跃20纳米》。二：用番笕水对管道阀门停此散失检侧时，必须将番笕水施药在管道阀门研讨会上，不会喷在仪表盘或电器电源插头上。三：仪器前，请将传奇装备压缩空气管道立即停止每名吹扫。四：耐压试验1.0Mpa，吃下大气压5kg。五：目前关闭程序零零漂移归零的戌时，判定进/出口处没访问量没压强下再操作。

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